WaferMaxZ代表了在一个紧凑封装中高精度组件垂直对齐方面的益处。其好的非接触式直线电机驱动采用高精度编码器直接位置反馈。当与Aerotech的MXH倍增器结合使用时，除了高速和精度外，它还提供亚纳米分辨率。
好的机械设计
轴承元件是交叉滚子风格，好的平滑和可靠性。这些都安装在一个优化的基础和楔形组件的刚度和低质量/惯性，提高动态性能。WaferMaxZ的所有关键元件都被选择在24/7的工业环境中运行，与螺旋或压电垂直级不同，WaferMaxZ无需维护，可确保多年无故障运行。
无刷直驱
为了大限度地提高定位性能，WaferMaxZ采用了Aerotech的blmu系列无刷无槽直线电机。这种电机具有无刷直接驱动电机的优点-无刷磨损，无齿轮传动系统维护，高加速度和高速度。由于它是一个无槽，无铁的设计，有零齿槽，这意味着没有扭矩波动。这使得WaferMaxZ成为轮廓运动，平滑扫描速度或精确增量步骤的好选择。
准确的定位
性能保证与精度线性编码器，导致0.8纳米分辨率。电机和高性能线性编码器直接耦合，以提高精度。
灵活的配置
Aerotech制造各种伺服放大器和控制器，以提供完整的集成封装。 |
