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增量式圆光栅
QUANTiC/40μm光栅系统，直接从读数头输出信号


QUANTiC配用RESM40
TONiC/超小型20μm光栅系统


TONiC配用RESM20	TONiC配用REXM20	TONiC UHV配用RESM20/真空	TONiC UHV配用REXM20/真空
VIONiC/超小型20μm光栅系统，直接从读数头输出信号


VIONiC配用RESM20	VIONiC配用REXM20
ATOM DX/微型20μm和40μm光栅系统，直接从读数头输出信号


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ATOM/微型20μm和40μm光栅系统


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